Кремний может уйти в прошлое

Учёные из Политехнического института штата Джорджии (США) и Национального научно-исследовательского центра (CNRS) во Франции при поддержке корпорации Intel разрабатывают принципиально новые микроэлектронные схемы на основе графена - тончайшего слоя графита. Используя принцип электронно-волнового дуализма и волновые свойства электронов на слоях графена толщиной до 10 атомов, исследователи хотят достигнуть проводимости как у материалов, основанных на углеродных нанотрубках.
Прототип микросхемы на фоне изображения поверхности графена
Для современных приборов микроэлектроника предъявляет жёсткие требования, следовательно, все новые материалы должны им соответствовать. Материалы на основе нанотрубок создать в промышленном масштабе не так просто. Графеновые слои же можно получать достаточно простым способом, испаряя атомы кремния с поверхности карбидокремниевых подложек при высоком вакууме. Далее при помощи спинкастинга на подготовленную поверхность наносится фоторезистивный материал для создания микроэлектронных контуров. Оптическим или электронно-лучевым литографическим методом и своеобразной гравировкой строятся нужные образы на поверхности готового материала, убирая лишний графен.
Этот новый перспективный материал уже сейчас, на стадии разработки, показывает достаточно неплохие результаты. Графен демонстрирует высокую электронную подвижность и электронное сопряжение при комнатной температуре. Он показывает эффект квантовой интерференции и предполагается, что, при малых структурах, будет наблюдаться баллистическая проводимость.










